PHEMOS-X可与探针台搭配使用，您可以通过您已熟悉的方式轻松配置好测试条件。

通过安装可选的激光扫描系统可得到高分辨率的样品图像，单独或同时搭配不同类型的探测器使得满足EMMI、OBIRCH、Thermal等多种分析技术的需求成为可能。

PHEMOS-X提供多应用场景和测试任务的分析能力，通过定制化的探针台，可用测试板、针卡等多种方式进行测试，支持最大12寸晶圆。

其他型号：iPHEMOS-MPX、DualPHEMOS-X