LabRAM Odyssey Semiconductor 包括专为半导体分析而设计的硬件和软件：

• 使用自动转塔和样品台
  进行晶圆映射 自动化 300 mm × 300 mm XY 样品台可接受直径达 300 mm （12“） 的晶圆，用于全晶圆和小目标区域 （ROI） 的拉曼和光致发光 mapping。载物台的行进速度及其稳定性确保了对分布在晶圆表面的ROI进行快速可靠的测量。
• 通过晶圆倾斜校正
  进行均匀性测量 “中途倾斜”自动对焦功能可校正任何晶圆弯曲和倾斜，生成准确的整个晶圆均匀性数据，即使是薄层。此功能非常快速，因为它仅在映射前的五个点处确定最佳焦距高度：在中心和中心和角落之间的中间点。
• 使用DuoScan™
  进行从全晶圆到高分辨率缺陷映射 DuoScan™共聚焦成像技术是一种共聚焦成像模式，具有可变尺寸激光微光斑扫描（使用超快光栅反射镜）和高精度亚微米步进扫描的能力。宏观光斑扫描适用于全晶圆映射，而亚微米级扫描适用于缺陷分析。
• PL和拉曼测量集于一身
  许多激发激光器的可用性以及系统的宽光谱范围（从深紫外到近红外），允许同时测量同一光谱中的光致发光和拉曼信号。PL和拉曼光谱合二为一，可显著加快晶圆表征速度。
• 方法：轻松构建配方，实现高效表征
  方法将允许您完全自动化整个拉曼/PL 表征程序（采集、数据处理、显示和分析），提供计量技术人员可管理的高通量。
  “方法”构建过程简单直观：过程或计量工程师可以优化每个操作，并一键将其插入配方/方法中。可以方便地重新排序、添加或删除单个操作。
  此自定义模块还由“模板”辅助，这是一种保存和调用一组硬件配置和软件选项的方法。
• ParticleFinder PF3：自动颗粒表征
  PF3 可快速定位完整晶圆上的污染物并对其进行化学表征。
  PF3 自动定位和拉曼映射污染颗粒。此外，PF3 还根据其化学特性（有机物、硅等）自动识别和分类所有检测到的杂质。
  还报告了形态特性（面积、周长、直径、圆度、亮度、体积估计等）的统计数据。